· 洁净环境的原则和规则
洁净环境的原则是什么？
在以细微化、高集成化不断发展的电子零件・组装行业，和对人体有影响的医药品・食品行业为代表的很多FA领域，都要求洁净环境。本特集将举例说明洁净环境和污染管理。这是一项影响质量的重要技术。规定了创造并维护该洁净环境的3原则。
【洁净环境 3原则】
1. 不带入污染
2. 不带出污染
3. 不堆积污染
※污染：是指浮游微量粒子、微生物等汚染物质。
另外，据说在污染管理中，若采用以下的分类标准，便于采取对策。
【污染管理的分类标准】
· 汚染对象是什么？
→对策因气体、液体、固体（内部或表面）而变化。气体比其他形态蔓延快，制造现场普遍存在，所以对于维持洁净环境而言，气体的污染管理很重要。
· 汚染物质的性质如何？
→必须确认物理・化学性质。因为汚染物质会改变汚染对象的物理・电气性质，或者为了除去污染物质而使用化学反应。
· 汚染源是什么？
→没有污染源就不会发生汚染物质。可以有效地指定并清除污染源，或者切断污染路径。
洁净环境的相关标准
说到洁净环境，我想很多人都会想到洁净室。接下来确认洁净室的定义和标准。
【何谓洁净室】
是指进行污染管理的有限空间。通过管理将空气中的浮游微小粒子、微生物控制到限定的清洁水平以下，另外还保持该空间供应的材料、药品、水等要求的洁净度。还根据需要管理温度、湿度、压力等环境条件。（JIS Z 8122 污染控制术语）
洁净环境的技术主要以美国较发达，所以多年来一般情况下都使用美国联邦标准FED-STD-209D。该标准规定，标准体积为1立方英尺（1英尺=30.48cm）。之后，标准变更为以1立方米为标准的FED-STD-209E。在日本，1989年制定了JIS B 9920洁净室的空气洁净度的评估方法标准。并且，在全球向国际单位转移的过程中，1999年制定了ISO 14644-1标准。对象微小粒子的粒径、标准体积大体上都采用JIS标准。因此，废除了美国标准，但习惯性使用FED-STD-209D。
各标准的标准体积和标准粒径
标准表（FED-STD-209）
等级标识 | 等级上限值 | ||||||||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 5μm | |||||||
体积单位 | 体积单位 | 体积单位 | 体积单位 | 体积单位 | |||||||
209E | 209D | m3 | ft3 | m3 | ft3 | m3 | ft3 | m3 | ft3 | m3 | ft3 |
M1 | 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10 | 0.283 | - | - | |
M1.5 | 1 | 1,240 | 35.0 | 265 | 7.5 | 106 | 3.00 | 35.3 | 1 | - | - |
M2 | 3,500 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | - | - | |
M2.5 | 10 | 12,400 | 350 | 2,650 | 75 | 1,060 | 30 | 353 | 10 | - | - |
M3 | 35,000 | 991 | 7,570 | 214.4 | 3,090 | 87.5 | 1,000 | 28.3 | - | - | |
M3.5 | 100 | - | - | 26,500 | 750.4 | 10,600 | 300 | 3,530 | 100 | - | - |
M4 | - | - | 75,700 | 2,140.4 | 30,900 | 875 | 10,000 | 283 | - | - | |
M4.5 | 1,000 | - | - | - | - | - | - | 35,300 | 1,000 | 247 | 7.00 |
M5 | - | - | - | - | - | - | 100,000 | 2,830 | 618 | 17.5 | |
M5.5 | 10,000 | - | - | - | - | - | - | 353,000 | 10,000 | 2,470 | 70.0 |
M6 | - | - | - | - | - | - | 1,000,000 | 28,300 | 6,180 | 175 | |
M6.5 | 100,000 | - | - | - | - | - | - | 3,530,000 | 100,000 | 24,700 | 700 |
M7 | - | - | - | - | - | - | 10,000,000 | 283,000 | 61,800 | 1,750 | |
标准表(JIS B 9920/ISO 146441-1)
等级标识 | 等级上限值 | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
1级 | 10(101) | 2 | ||||
2级 | 100(102) | 24 | 10 | 4 | ||
3级 | 1,000(104) | 237 | 102 | 35 | 8 | |
4级 | 100,000(105) | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
5级 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | |
6级 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | |
7级 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
8级 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
9级 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | |||
